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Digital camera system, 시편전처리(Cutting, Polishing, Mounting 등)
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Low vacuum image, BSE high material contrast, Wet tool moisture
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Cross-section milling, TEM lamella sample preparation, EDS, EBSD, Failure analysis in integrated circuit, 3D Topography
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Cross-section milling, TEM lamella sample preparation, EDS, EBSD, Failure analysis in integrated circuit, 3D Tomography, High-resolution imaging of magnetic samples
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Large area cross-section milling(Xe plasma), TEM lamella sample preparation, EDS, EBSD, Delayering, Failure analysis in integrated circuit, 3D Topography
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미세조직, 결정 결함구조 분석 (HR-TEM, STEM, SADP, FFT)
원소 정성/정량 분석 - EDS
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원소 정성/정량 분석 - EDS
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고체표면의 무기 및 유기 성분분석, 원소의 깊이 분포도 측정, 이차이온 이미지, 동위원소 측정
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원소분석, 표면성분의 정량분석, 원소의 깊이분포도 측정, SEM 이미지, 화학적 결합상태 측정
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고체표면의 원소분석, 화학결합상태 분석, 정량분석, 이미지 맵핑 일함수 측정, 수직분포(Depth profile) 정량분석
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형광 X-ray를 사용한 각종 시료의 성분 분석 ([Fluorine(9)~Uranium(92)]
미지시료의 정성 분석 및 정량 분석, Micro mapping
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고분해능 X-ray 회절을 이용한 박막 시료의 구조 분석
XRR(X-ray reflectivity), Rocking curve, In-plane, RSM(Reciprocal space mapping)
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표면형상 이미지, 표면마찰력, 마모 측정, 표면탄성 및 점성 측정, 전기적 특성 측정, 세포이미지
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미세조직, 결정 결함구조 분석 (HR-TEM, STEM, SADP, FFT)
원소 정성/정량 분석 - EDS
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원자방출분광법을 이용하여 환경, 생체 및 재료시료에서 특정 무기원소의 ppm~wt% 정량분석에 활용.
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비휘성유기물 분석, 재료,환경,생체시료로부터 유기물성분을 추출후 분리하여 정성 및 정량
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단백질, 핵산 등의 생체분자 3차원 구조 규명
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고분자, 고무, 에폭시, 오일, 페인트, 섬유 등 유기합성물의 다양한 시료 분석
Library search 및 해석
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Pt & Au metal sputtering, Carbon evaporation
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Cross-section Ar ion milling, 전해 연마, 화학 연마
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ESPEC사 항온항습기 7대 운영
Specification
+10 to +95℃ / 10 to 98%rh
±2.5%rh
-75 to +180℃ (+103 to +356℉)
±0.3K
사용문의 : (주)디엠엘 신뢰성센터 619호
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ESPEC사 열충격시험 기 2대 운영
Specification
+50 to +205℃ (+140 to +401℉)
-77 to 0℃ (-106 to +32℉)
±1.0℃
사용문의 : (주)디엠엘 신뢰성센터 619호
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